外加电场法制备LiNbO3周期畴的工艺研究

• 作者: 屈绍波 徐卓 朱林户 陈建华 魏晓勇
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: LiNbO3周期极化畴 介电击穿 畴扩展
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 851-854
• 页数: 4页
• 分类号: TM282
• 字数: 2420字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2008.04.043

摘要

研究了LiNbO3单晶周期极化畴结构的制备工艺,讨论了外电场的特性对周期极化过程的影响.在对周期畴制备各工艺步骤进行实验研究的基础上,提出解决LiNbO3单晶周期畴制备中一直存在的边缘击穿问题,必须选择合适的周期电极形式并对脉冲波形进行优化.采用所提出的工艺,LiNbO3周期极化畴的成品率提高到了90%.为解决周期极化过程中反转畴的侧向扩展,在对周期极化物理过程进行分析的基础上,采取了对周期电极宽度进行优化设计和在样品上包覆聚酰亚胺绝缘胶的方法,有效克服了这一问题,制备了占空比符合预期的高质量的周期畴结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	屈绍波	西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室	120	663	12.0	17.0
3	陈建华	空军工程大学工程学院	11	45	4.0	6.0
7	徐卓	西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室	106	610	13.0	18.0
8	朱林户	空军工程大学理学院	23	133	7.0	10.0
11	魏晓勇	西安交通大学电子陶瓷与器件教育部重点实验室	14	68	4.0	8.0