钍钨阴极碳化工艺的研究与应用

• 作者: 陈正富
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化工艺过程 碳化层厚度
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 44-46
• 页数: 3页
• 分类号: TN123
• 字数: 1588字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2008.02.011

摘要

介绍一种微波炉用连续波磁控管钍钨阴极的碳化工艺过程及碳化的方法,利用新的碳化工艺方法来控制碳化层厚度,选择合适的碳化层厚度,得到了长寿命高可靠的阴极.