CuCl+注入α-Al2O3晶体退火后表面亚微米颗粒的形成情况研究

• 作者: 张永辉 张海峰 王春芬 黄宁康
• 来源期刊: 材料开发与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注人 退火 偏聚 亚微米颗粒
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.4|O433.5
• 字数: 2403字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1545.2008.06.002

摘要

CuCl+离子注入不同晶向的α-A12O3晶体中,对在还原气氛下退火后的试样进行SEM表面观察.结果发现,不同注入条件和不同温度退火的不同晶向α-Al2O3晶体表面均形成弥散的亚微米颗粒.说明CuCl+离子注入α-Al2O3晶体产生的缺陷损伤在退火过程中,单个分散的带电色心缺陷与CuCl+离子形成的缺陷缔合体在恢复过程中发生了CuCl原子的偏聚,随着退火时间的增加,偏聚程度提高而形成颗粒,并逐渐长大形成亚微米颗粒.颗粒的大小和分布随注入条件以及退火温度不同而不同.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海峰	中国船舶重工集团公司第七二五研究所	11	25	3.0	4.0
2	王春芬	中国船舶重工集团公司第七二五研究所	6	54	3.0	6.0
3	黄宁康	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术重点实验室	10	18	3.0	3.0
4	张永辉	中国船舶重工集团公司第七二五研究所	4	14	2.0	3.0