泰曼-格林干涉仪测量液晶空间光调制器的相位调制特性

• 作者: 吴丽莹 张健 张洪鑫
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 空间光调制器 泰曼-格林干涉仪 相位调制
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 1360-1364
• 页数: 5页
• 分类号: TN761
• 字数: 1718字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.09.013

摘要

为了评价美同BNS公司反射式256 pixel×256 pixel纯相位液品空间光调制器(LC SLM)的性能,提出利用泰曼-格林干涉仪对相位调制特性进行干涉测量.实验结果表明,液晶空间光调制器的相化随灰度呈非线性分布,利用反插值法建立线性查找表,校正了器件的非线性.非线性度由原来的17.23%减小到2.85%;中心与边缘的相位调制,在同一灰度级最大相位差达到0.22π,中心相位调制均方根误差是边缘的4倍,说明该器件存在相位调制的不均匀性,中心相位误差较大,在波前控制中应给予校正.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张健	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	97	890	16.0	26.0
2	吴丽莹	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	12	248	8.0	12.0
3	张洪鑫	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	10	73	4.0	8.0