集成薄膜晶体管液晶空间光调制器光调制特性的实验研究

• 作者: 徐鹏 王玉荣
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 液晶空间光调制器 振幅调制 相位调制 干涉测量
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 412-416
• 页数: 5页
• 分类号: TN141.9
• 字数: 4103字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2005.05.011

摘要

提出一种测量液晶空间光调制器(liquid crystal spatial light modulator,LCSLM )光调制特性(振幅调制特性和相位调制特性)的新方法.采用Mach-Zehnder干涉仪光路,在其中一臂中引入4f成像系统,把LCSLM放置在4f系统的输入面上作为图像输入器件,用位于4f系统输出面上的高性能CCD记录输出图像或输出图像与参考光的干涉条纹.根据输出图像的强度和强度均匀性测量LCSLM的振幅调制特性;根据干涉条纹分布测量LCSLM的相位调制特性.与已有方法相比,该方法不仅可测量LCSLM的振幅和相位调制特性曲线,还可测量器件单个像元上的振幅和相位调制特性.文中以一种薄膜晶体管扭曲向列型LCSLM为例,测量了其振幅调制响应曲线、振幅调制均匀性和相位调制均匀性,实验结果证明了该方法的正确性和实用性.