基于商用坐标测量机的3D微纳米计量

• 作者: BRAND Uwe 于连栋
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微系统计量 坐标测量机 激光干涉仪 光纤探针
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 437-441
• 页数: 5页
• 分类号: TN16
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.06.008

摘要

以测量精度为1 μm的商用坐标测量机(CMM)为基础,构建了测量范围为25 mm×40 mm×25 mm、测量不确定度约为0.15 μm的PTB微纳米专用坐标测量机.研究了CMM的运动控制系统、恒温室的空调系统以及CMM的被动隔振系统等对测量结果的影响.由测量结果可以看出,CMM的运动控制系统产生的噪声水平约为其他误差源的2倍.通过FFT运算,发现未优化系统的短时最大漂移量发生频率为750 Hz,对应为运动控制的工作频率.文中还介绍了测量力为1 μN光纤探针的测量原理,并给出了对2.5 mm短轴的测量结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于连栋	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	50	337	11.0	16.0