硬质合金刀具上的类金刚石薄膜硬度的研究

• 作者: 汪建华 满卫东 熊礼威 王传新 王升高 谢鹏
• 来源期刊: 硬质合金
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 射频辉光等离子体 硬度 硬质合金
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 257-260
• 页数: 4页
• 分类号: TG1
• 字数: 2832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7292.2008.04.013

摘要

采用射频辉光等离子体法制备了类金刚石薄膜,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素,包括:极板间距、甲烷浓度、射频功率和膜层厚度等,分析了各种生长参数对类金刚石薄膜硬度的影响机理,找出了最佳的生长参数.