镀膜对FE-SEM纳米尺度形貌观察的影响

• 作者: 李梅晔
• 来源期刊: 分析测试技术与仪器
• 学科: 化学
• 关键词: 场发射扫描电镜 镀膜 纳米尺度形貌
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 分析测试经验介绍
• 页码范围: 120-124
• 页数: 5页
• 分类号: O657.32
• 字数: 2469字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3757.2008.02.012

摘要

通过观察场发射扫描电子显微镜下非导电样品镀膜前后纳米尺度的形貌变化,发现镀膜对样品在几个纳米范围内的形貌有一定的影响和遮盖,分析了使用场发射扫描电镜观察样品高倍数形貌时应注意的问题,并给出了获取真实形貌的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李梅晔	中国科学院长春应用化学研究所光谱中心	5	14	2.0	3.0