版库装置应用软件的设计与开发

• 作者: 葛宁
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 版库装置 软件设计 升降台 掩模版 版盒 锁定 解锁
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: IC制造工艺与设备
• 页码范围: 41-47
• 页数: 7页
• 分类号: TP311.1
• 字数: 5466字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.08.009

摘要

版库装置是一些半导体设备的必要组件,版库装置的主要功能是:对放置于版库上的版盒进行检测,识别版盒中掩模版的存贮状况;锁定或解锁版盒;将指定版槽定位到版交接位置,从而对指定版槽进行放掩模版或取掩模版操作等.版库软件设计开发的目的就是为了实现上述功能.对版库软件的设计开发过程应用软件工程的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛宁		2	0	0.0	0.0