FIB-SEM-Ar″三束″显微镜

• 作者: 刘同娟
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 三束 聚焦离子束 投射电子显微镜 Ar离子束
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 测试与测量
• 页码范围: 53-55
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 1118字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.10.010

摘要

FIB-SEM-Ar"三束"显微镜在FIB/SEM装置的平台上附加了降低样品损伤的低能Ar离子枪,首次实现了通过一台仪器完成高质量的透射电子显微镜TEM的样品制备.简化了样品整个加工的过程,同时大大提高了加工精度和工作效率.对"三束"显微镜做了介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘同娟		37	140	6.0	11.0