飞秒激光深孔加工技术研究

• 作者: 倪晓昌 柴路 洪茹 王清月 贾威
• 来源期刊: 天津工程师范学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光 激光烧蚀 针孔模板 透射光栅
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 5-8,20
• 页数: 5页
• 分类号: TG52
• 字数: 2422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-0926.2008.03.002

摘要

采用聚焦物镜与接收材料同步运动的方法,以二维平面图形式研究焦点前后脉冲的空间形态.通过改变小孔直径和小孔前后单脉冲能量,可以观察光束空间形态的变化.结果显示:脉冲能量大小只影响刻痕线宽大小;缩小掩模小孔直径时,焦点前后光束空间直径变化趋缓,甚至束腰位置也随之偏移.在选取合适参数的情况下,可成功刻划出边缘光滑的透射型金属光栅条纹.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾威	光电信息科学教育部重点实验室超快激光实验室	3	14	2.0	3.0
2	倪晓昌	天津工程师范学院电子工程系	3	16	2.0	3.0
6	洪茹	天津工程师范学院电子工程系	1	6	1.0	1.0
7	王清月		2	10	2.0	2.0
8	柴路		2	10	2.0	2.0