真空阴极弧离子镀的发展及应用

• 作者: 樊勇
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 真空阴极弧离子镀 磁过滤器 系统效率 等离子体传输
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 热加工工艺技术与材料研究
• 页码范围: 93-96
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 4214字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2008.04.034

摘要

叙述了真空阴极弧离子镀技术的原理,种类,宏观颗粒的产生以及磁过滤器的应用.重点分析了系统效率,等离子体传输影响因素和真空阴极电孤离子镀技术在薄膜研究和制造中的应用.