激光合成波长纳米测量干涉仪的非线性误差分析

• 作者: 周砚江 李达成 穆瑞珍 陈本永
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 干涉仪 合成波长 非线性误差 偏振光非正交
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 240-244
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2709字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.02.017

摘要

描述了激光合成波长纳米测量干涉仪的测量原理,分析了非线性误差对该干涉仪的影响,得出了由偏振光非正交、椭偏化和光学元件偏振非正交及椭偏化等对该干涉仪造成的非线性误差为偏振态误差的二阶或高阶小量.进行了激光合成波长纳米测量干涉仪和激光外差干涉仪的对比实验,结果表明激光合成波长纳米测量干涉仪的最大误差为2.1 nm,优于激光外差干涉仪的最大误差7.5 nm,验证了激光合成波长纳米测量干涉仪的优越性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈本永	浙江理工大学纳米测量技术实验室	63	361	11.0	17.0
2	李达成	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	43	658	15.0	24.0
3	周砚江	浙江理工大学纳米测量技术实验室	28	160	8.0	11.0
4	穆瑞珍	浙江理工大学纳米测量技术实验室	2	31	2.0	2.0