化学气相沉积碳化硅的热力学分析

• 作者: 卢翠英 张立同 徐永东 成来飞 赵春年
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热力学 表面反应粘结系数 浓度 化学气相沉积 碳化硅
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1189-1192
• 页数: 4页
• 分类号: TB37
• 字数: 3037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2008.06.021

摘要

根据青布斯自由能最小原理,采用FACTSAGE计算软件,重点对MTS/H2体系化学气相沉积碳化硅进行了均相平衡计算,评价了体系中主要化合物对沉积碳化硅的作用.结果表明,低温和高压下,SICl4和CH4的含量最多,不饱和物质和自由基的含量非常少,温度的升高和压力的下降可显著提高不饱和物质和自由基的浓度;高温和低压下,SiCl2和C2H2可能是形成碳和硅的主要先驱体,其它稳定物质如碳氢化合物,有机硅化合物和硅烷等由于浓度太小和表面反应粘结系数低,对碳化硅的沉积可以不予考虑;体系中几乎没有含Si-C和Si-Si键的物质,说明碳化硅是经过碳和硅独立形成,二者的相对速率决定了碳硅比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成来飞	西北工业大学超高温结构复合材料国家级重点实验室	259	2656	22.0	40.0
2	张立同	西北工业大学超高温结构复合材料国家级重点实验室	248	2867	24.0	42.0
3	徐永东	西北工业大学超高温结构复合材料国家级重点实验室	131	1982	23.0	37.0
4	赵春年	西北工业大学超高温结构复合材料国家级重点实验室	8	33	4.0	5.0
5	卢翠英	西北工业大学超高温结构复合材料国家级重点实验室	4	21	3.0	4.0