基于光栅检测的显微镜闭环扫描控制系统的设计

• 作者: 吴耀春 萧泽新
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅检测 硬件细分 上位机 重复定位精度
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 71-73,77
• 页数: 4页
• 分类号: TH742.9
• 字数: 2306字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2008.02.019

摘要

高精度扫描控制系统是现代扫描显微系统的重要组成部分,它影响着扫描显微镜对样品的扫描成像质量.提出了一种基于光栅检测的单片机闭环扫描控制系统的设计方案.该系统采用PC上位机发送指令,下位单片机控制扫描工作台的移动,光栅作为检测元件输出脉冲信号.单片机控制电路实现脉冲的计数并计算误差值,控制步进电机进行误差补偿.步进电机的硬件细分驱动,实现了步距2细分、4细分、8细分.实验结果表明该系统的重复定位精度达到0.005mm,满足扫描显微镜对扫描控制系统的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	萧泽新	桂林电子科技大学光机电一体化研究所	53	300	9.0	13.0
2	吴耀春		16	34	3.0	4.0