MEMS中的高热密度的散热设计

• 作者: 刘晓明 朱钟淦 汪洋 王殿银
• 来源期刊: 电子机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 热设计 尺度效应 液体冷却 微热交换器
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 抗恶劣环境设计与试验技术
• 页码范围: 28-31,34
• 页数: 5页
• 分类号: TK124|TN305.94
• 字数: 2790字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-5300.2008.02.007

摘要

MEMS中的热密度高于80 W/cm2,发热问题已严重影响着其可靠性.文中从微小结构液体冷却热交换设计理论分析和试验着手,研究高热密度情况下的MEMS散热设计.宏观下的流体力学和传热学在微尺度中存在尺度效应.由于微结构中流体表面张力的影响,使流体流动状态由层流变成紊流的重要参数雷诺数Re约为900~1100时,流动状态将发生变化.基于目前MEMS微体加工的可能,文中给出了三种在MEMS中使用的液体冷却微热交换器的设计,经计算机仿真,该热交换器有较大的使用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓明	电子科技大学机械电子工程学院	21	171	5.0	12.0
2	汪洋	电子科技大学机械电子工程学院	9	38	3.0	6.0
3	朱钟淦	电子科技大学机械电子工程学院	6	20	3.0	4.0
4	王殿银		1	1	1.0	1.0