基于MEMS的微引信谐振器系统级设计

• 作者: 国蓉 王伟 王小娟
• 来源期刊: 兵工自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 微引信谐振器 系统级设计 微机电系统集成设计平台
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 武器装备自动化
• 页码范围: 3-5,9
• 页数: 4页
• 分类号: TJ430|TP391.9
• 字数: 1924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1576.2008.11.002

摘要

在微机电系统集成设计平台-MEMS Garden基础上,搭建MEMS微引信谐振器的系统级模型,并利用有限元仿真计算2种方法并对模型进行有效性验证,完成谐振器的结构设计,再由仿真得到结构性能参数.研究结果表明,采用系统级方法进行MEMS器件的设计能够在确保求解精度的前提下,显著提高设计效率,缩短设计周期,减小设计成本:所设计的MEMS微引信谐振器的各项性能指标完全能满足引信安全系统的应用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	国蓉	西安工业大学光电工程学院	36	309	9.0	17.0
2	王伟	西安工业大学光电工程学院	74	337	11.0	14.0
3	王小娟	西安工业大学光电工程学院	10	15	2.0	3.0