纳米三坐标测量机的导轨直线度误差分离实验

• 作者: 李启标 陈晓怀
• 来源期刊: 黑龙江科技学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米三坐标测量机 直线度误差 误差分离实验
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 页码范围: 281-284
• 页数: 4页
• 分类号: TH873.7|TP202.2
• 字数: 1983字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-0118.2008.04.012

摘要

基于误差分离技术,以德国SIOS公司的微型纳米级精度的三光束激光干涉仪SP2000为高精度的标准量,对正在研制的新型纳米三坐标测量机进行导轨直线度误差分离方案的研究.设计出具体的误差分离实验装置,并给出详细的实验操作过程.通过三次样条插值拟合,对实验测得的误差值进行修正.实验结果证明了所采用的误差分离方法明显提高了纳米三坐标测量机的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓怀	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	100	1009	16.0	25.0
2	李启标	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	3	1.0	1.0