纳米三坐标测量机误差分离方法

• 作者: 杨洪涛 费业泰 陈晓怀
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米三坐标测量机 误差分离装置 设计 试验
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术及基础理论
• 页码范围: 140-143
• 页数: 4页
• 分类号: TH721.1|TH161+.5
• 字数: 1269字
• 语种: 中文

摘要

根据纳米三坐标测量机结构、误差分布特征和精度要求,选用微型三光束平面激光干涉仪分离测量机误差.设计了误差分离装置,实现了干涉仪平移、偏摆、俯仰和垂直高度的调整以及反射镜垂直角度的精密调整.从原理上分析了45°反射镜光路转折对干涉仪测量结果的影响,实验结果证实了该装置可以实现标准量示值误差、导轨直线度线值误差和俯仰、偏摆、滚转误差的一次性分离,减小传统仪器分离方法由于发热、振动和非实时测量带来的附加误差,误差修正精度可以提高5倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓怀	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	100	1009	16.0	25.0
2	杨洪涛	安徽理工大学机械工程学院	91	274	8.0	12.0
3	费业泰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	222	2927	27.0	41.0