微流体温度控制器的数值模拟与特性分析

• 作者: 吴健康 晁侃 龚磊
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微流体温度控制器 传热效率 数值模拟
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 58-60,63
• 页数: 4页
• 分类号: TK124
• 字数: 2357字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.05.019

摘要

为了满足微电子封装过程对器件温度变化的精确控制,提出一种快速升降温的微型流体温度控制器,并采用流体力学软件FLUENT对温度控制器的液体-固体-空气-体化的流动-热传导过程进行数值模拟.在给定进口液体温度变化特征的情况下,通过数值分析考察控制器表面温度对进口液体温度变化的响应特性,包括时间跟随性(传热灵敏度)和温度变化振幅的衰减率(传热效率).考察了控制器结构尺度、进口液体速度、温度变化波形、周期等参数对温度控制器的特性影响.结果表明:控制器厚度增加,控制器表面温度变化幅值衰减增大;控制器进口流速大,控制器表面温度变化幅值衰减率小;进口液体温度变化周期短,传感器表面温度变化幅值衰减增大;进口温度变化方形波的传热效率大于三角波形;传感器表面温度变化周期与进口温度周期相同,但存在相位差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	晁侃	华中科技大学武汉光电国家实验室	9	36	4.0	5.0
2	吴健康	华中科技大学武汉光电国家实验室	19	98	6.0	9.0
3	龚磊	华中科技大学武汉光电国家实验室	7	29	3.0	5.0