飞秒激光辐照下硅薄膜的非傅里叶能量输运

• 作者: 刘国栋 王贵兵 罗福
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 工学
• 关键词: 飞秒激光辐照 能量输运 傅里叶 硅薄膜 电声子相互作用 BOLTZMANN 弛豫时间近似 能量守恒方程
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 112-113
• 页数: 2页
• 分类号: TN241

摘要

当激光能量激励时间与能量载子的特征弛豫时间相当时，能量输运不再是建立在温度梯度基础上的扩散方式，宏观输运模型失去其成立的物理基础，需要用更严格的包含电声子相互作用的非傅里叶输运模型来描述。针对飞秒激光作用下100nm厚度硅薄膜内的微观能量输运过程，从弛豫时间近似下的电子Boltzmann输运方程出发（仅考虑电子间的弹性散射），结合电子和声子的能量守恒方程（包含电子和声子之间的能量耦合项），可以得到双曲双步输运方程：