近红外飞秒激光诱导非晶硅薄膜的晶化

• 作者: 何敏 戴晔 阎晓娜 马国宏
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非晶态物理 晶化 飞秒激光 硅
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 全国半导体物理学术会议邀请报告选编
• 页码范围: 202-206
• 分类号: O434.3
• 字数: 1074字
• 语种: 中文

摘要

1kHz的飞秒激光辐照在非晶硅薄膜后会使得辐照区域的薄膜产生晶化现象.拉曼光谱表明这个激光诱导晶化过程与入射激光的能量及其模式分布有密切的联系.扫描电镜观测发现激光辐照区域形成了粗糙的表面纹理,并且大量的晶粒形成在这个结构表面.这个晶化现象可能是由于爆炸晶化成核和晶粒外延生长共同作用的结果,进一步的研究表明这种飞秒激光诱导的晶化结构能够增进该薄膜在可见和红外波段的光学吸收.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戴晔	上海大学物理系	22	64	4.0	8.0
2	阎晓娜	上海大学物理系	37	189	6.0	13.0
3	马国宏	上海大学物理系	35	142	7.0	11.0
4	何敏	上海大学物理系	3	6	2.0	2.0