铝诱导晶化非晶硅薄膜研究

• 作者: 刘伟 张佳雯 方晓玲 晏春愉 王建军 高斐
• 来源期刊: 陕西师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 铝诱导晶化 非晶硅薄膜 晶化率 退火时间
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2843字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-4291.2007.04.009

摘要

应用晶化非晶硅(a-Si)薄膜铝诱导方法,采用X射线衍射(X-ray diffraction,XRD)、光学显微镜(Optical Microscopy,OM)和原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM)等测试手段,研究了退火条件对样品晶化的影响.结果表明,样品在300℃下退火后仍为非晶态;退火温度为400℃时,样品开始晶化.随着退火时间的增加,薄膜晶化程度越来越高,晶粒越来越大,同时薄膜表面粗糙度增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高斐	陕西师范大学物理学与信息技术学院	26	39	3.0	5.0
2	刘伟	陕西师范大学物理学与信息技术学院	39	292	9.0	16.0
3	晏春愉	陕西师范大学物理学与信息技术学院	8	22	3.0	4.0
4	张佳雯	陕西师范大学物理学与信息技术学院	8	22	3.0	4.0
5	方晓玲	陕西师范大学物理学与信息技术学院	8	21	3.0	4.0
6	王建军	陕西师范大学物理学与信息技术学院	11	30	4.0	5.0