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摘要:
采用真空热蒸发和电子束蒸发方法,制备了Al和MgF2 多层滤光膜,并在100,150,200,300 ℃的真空环境中进行了热处理,考察了真空热处理温度对多层滤光膜光谱、形貌和环境稳定特性的影响.结果表明,经过真空热处理后,滤光膜表面粗糙度降低,峰值透射率升高,半宽度增大.随着在实验室干燥环境中放置时间的增加,未热处理以及300 ℃热处理样品的透射率峰位向长波方向有较大的移动,峰值透射率降低,可见光抑制特性减弱.而150,200 ℃热处理样品的透射率峰位移动很小,峰值透射率及可见光抑制特性基本保持不变,具有很好的环境稳定性.
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真空紫外Al/MgF2反射镜
真空紫外反射镜
Al/MgF2反射镜
基板温度
反射率
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 Al和MgF2多层滤光膜光谱及其环境稳定性
来源期刊 强激光与粒子束 学科 物理学
关键词 多层膜 热处理 环境稳定性 峰值透射率
年,卷(期) 2008,(2) 所属期刊栏目 ICF与激光等离子体
研究方向 页码范围 219-223
页数 5页 分类号 O484
字数 3512字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 郑秀萍 同济大学精密光学工程技术研究所 6 20 3.0 4.0
2 吴永刚 同济大学精密光学工程技术研究所 53 242 9.0 13.0
3 付联效 同济大学精密光学工程技术研究所 11 55 5.0 7.0
4 王振华 同济大学精密光学工程技术研究所 25 79 5.0 8.0
5 曹鸿 同济大学精密光学工程技术研究所 10 27 3.0 4.0
6 张莉 同济大学精密光学工程技术研究所 56 473 9.0 20.0
7 焦宏飞 同济大学精密光学工程技术研究所 20 53 4.0 6.0
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研究主题发展历程
节点文献
多层膜
热处理
环境稳定性
峰值透射率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
强激光与粒子束
月刊
1001-4322
51-1311/O4
大16开
四川绵阳919-805信箱
62-76
1989
chi
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9833
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7
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61664
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