真空紫外Al/MgF2反射镜

• 作者: 周东伟 张金帅 王占山 王风丽
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 真空紫外反射镜 Al/MgF2反射镜 基板温度 反射率
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 913-918
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4|TH703
• 字数: 2679字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152304.0913

摘要

采用三步热舟蒸发制作法研制了真空紫外Al/MgF2反射镜,研究了改善制备工艺有效提升反射率的方法.在两层Al/MgF2反射镜制备过程中,第一步在室温石英基板上快速蒸发厚约70 nm的铝膜;第二步在铝膜表面迅速蒸发厚约10 nm的MgF2;第三步先对基板加热到一定温度后,再在Al+ MgF2的表面上蒸发15～20 nm厚的MgF2.通过调整基板温度(室温、100℃、200℃和300℃),研究了基板温度对Al/MgF2反射率的影响.真空紫外反射率计测试结果表明:第二步蒸镀MgF2之后增加基板温度有利于提高反射镜的反射率;MgF2薄膜的厚度对反射镜的反射率起到一定的调制作用,MgF2厚为26.7 nm的反射镜在122 nm处的反射率达85％.在实验室环境下存放1个月和5个月后,反射镜的反射率没有变化.研究结果为真空紫外光学系统需求的高性能光学元件的研制提供了技术基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王占山	同济大学物理科学与工程学院教育部先进微结构材料重点实验室	92	640	14.0	19.0
2	王风丽	同济大学物理科学与工程学院教育部先进微结构材料重点实验室	27	135	7.0	9.0
3	周东伟	同济大学物理科学与工程学院教育部先进微结构材料重点实验室	1	3	1.0	1.0
4	张金帅	同济大学物理科学与工程学院教育部先进微结构材料重点实验室	1	3	1.0	1.0