紫外-真空紫外波段的Al+MgF2膜

• 作者: 刘颖 李福田
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 反射膜 紫外 真空紫外 反射率
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 165-168
• 页数: 4页
• 分类号: O484.41
• 字数: 2124字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.02.016

摘要

Al+MgF2膜是真空紫外波段常用的一种反射膜。根据薄膜光学的电磁场理论计算了正入射条件下Al+MgF2膜在真空紫外波段的反射率随氟化镁膜厚度的变化规律。研究了Al+MgF2膜的制备工艺，利用Seya-Namioka紫外-真空紫外反射率计测得Al+MgF2膜的反射率在150nm～340nm的波段上高于80%。Al+MgF2膜制备一年后，其真空紫外波段的反射率未有明显变化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李福田	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	49	486	13.0	20.0
2	刘颖	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	158	3777	30.0	58.0