力平衡式微加速度计系统特性研究

• 作者: 张扬 曲延滨
• 来源期刊: 福州大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 力平衡 微加速度计 偏置电压极性
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2605字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2243.2008.z1.014

摘要

力平衡式微机速度计是目前硅微速度计领域研究的热点,文章介绍了力平衡式加速度计的闭环检测原理,通过对反馈方式、偏置电压极性等对加速度计性能影响的定性分析,阐述了不同情况下提高加速度计性能所应采取的措施.