基于DBR的半导体晶圆制造生产调度研究

• 作者: 丁小进 乔非 李莉
• 来源期刊: 机电一体化
• 学科: 工学
• 关键词: 约束理论 瓶颈重入流 瓶颈识别 分层DBR
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 学术·论文
• 页码范围: 29-31,38
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 4377字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-080X.2008.03.011

摘要

在分析了存在重人流的半导体晶圆制造环境中实现DBR(drum buffer rope)调度难点的基础上,提出了半导体生产线的瓶颈识别算法和单产品类型制造环境下半导体生产线分层DBR调度思想;以HP24半导体生产线为模型,使用EM-PLANT软件进行仿真,验证了方案的可行性.