微机电系统惯性电学开关的设计与制作

• 作者: 丁桂甫 刘瑞 杨卓青 蔡豪刚 赵小林
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非硅表面微加工 微型惯性开关 设计与制作 微机电系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1033-1036
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 2350字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2008.09.007

摘要

基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护.使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘瑞	上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室	12	94	6.0	9.0
2	丁桂甫	上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室	60	503	12.0	19.0
3	杨卓青	上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室	7	91	3.0	7.0
4	蔡豪刚	上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室	3	32	2.0	3.0