聚合物先驱体转化法制备陶瓷MEMS器件

• 作者: 吕红映 张教强 王亚洲 陈立新
• 来源期刊: 中国胶粘剂
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 聚合物先驱体转化法 陶瓷器件
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 专题与综述
• 页码范围: 56-60
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174.758
• 字数: 4179字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2849.2008.11.014

摘要

简述了聚合物先9区体转化陶瓷(PDC)法在制备陶瓷纤维、陶瓷涂层和陶瓷粘接等方面的应用,重点介绍了PDC法在微机电系统(MEMS)器件制适中的发展概况.耐高温MEMS的发展面临两大挑战:高温材料的选择和发展合适的微加工技术.指出了传统加工技术制备陶瓷MEMS的不足.着重介绍了PDC法制备陶瓷MEMS的优缺点.以国外采用PDC法制备陶瓷MEMS的几种典型器件为例,指出该方法在制备陶瓷MEMS器件中存在的问题和未来的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张教强	西北工业大学理学院应用化学系	107	841	16.0	23.0
2	陈立新	西北工业大学理学院应用化学系	84	1145	18.0	31.0
3	王亚洲	西北工业大学理学院应用化学系	11	34	4.0	5.0
4	吕红映	西北工业大学理学院应用化学系	2	12	2.0	2.0