太阳能电池刻蚀机的控制系统研究

• 作者: 张育胜
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 树形结构 逻辑控制 系统 组合逻辑 时序逻辑 时序图
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 太阳能制造与设备
• 页码范围: 20-22,31
• 页数: 4页
• 分类号: TP332.3
• 字数: 2478字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.08.004

摘要

太阳能电池刻蚀机的自动生产流程是逻辑控制系统,提出采用树形结构对逻辑控制系统进行分析,各子系统用树形结构进行设计,终端子系统采用时序图方法进行设计,综合了组合逻辑和时序逻辑控制.此方法应用于自动太阳能电池刻蚀机,提高了系统的处理速度和可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张育胜	中国科学院微电子研究所	2	21	1.0	2.0