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摘要:
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高硅含锗物料中锗的提取工艺探讨
酸浸
氢氟酸
回收
硅基锗硅驰豫衬底的外延生长
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驰豫衬底
外延生长
锗硅外延工艺优化对28nm PMOS器件性能的改善
锗硅外延
薄膜堆叠层
器件性能
PMOS器件
介观压阻型硅锗加速度计研究
介观压阻效应
加速度计
灵敏度
双悬臂梁
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 硅锗:快、安静且强大
来源期刊 电子设计技术 学科
关键词
年,卷(期) 2008,(12) 所属期刊栏目 技术纵横
研究方向 页码范围 82-88,96
页数 6页 分类号
字数 5586字 语种 中文
DOI
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相关学者/机构
期刊影响力
电子设计技术
月刊
1023-7364
11-3617/TN
16开
北京市
1994
chi
出版文献量(篇)
5532
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6
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1789
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