简谐电压激励下静电谐波微电机的响应分析

• 作者: 秦磊 许立忠
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 谐波微电机 静电场力 简谐电压 动态响应 共振分析
• 年，卷（期）: 2008,（19）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 2359-2363
• 页数: 5页
• 分类号: TH132
• 字数: 3977字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2008.19.021

摘要

提出了一种基于静电驱动的新型谐波微电机,描述了该微电机的基本工作原理.给出了微电机中静电场力的静态分量、动态分量和简谐电压激励下的载荷.将受迫振动的位移解表示为柔轮自由振动振型的级数形式,进而把按照Donnell壳理论建立的控制微分方程予以化简.利用壳体振型的正交性,确定了简谐电压激励下系统的动态响应,并总结了其规律.最后,分析了系统在电压激励下的共振特性,以及随主要系统参数的变化规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦磊		6	12	2.0	3.0
2	许立忠		81	306	9.0	13.0