用双计算全息图检测凹非球面

• 作者: 伍凡 侯溪 吴高峰 张晶 谢意 陈强
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 凹非球面 计算全息图 零位检验 自准直检验
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 1313-1317
• 分类号: O438.12|TB96
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2008.07.018

摘要

为实现对凹非球面的高精度检测,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图.设计的双计算全息图由主全息和对准全息两部分组成,分别用于检测非球面和精确定位主全息.介绍了双计算全息图的工作原理及其设计方法,并给出了一个检测Φ140、F/2抛物面反射镜的双计算全息图设计实例,实验得到的均方根(RMS)误差为0.062λ.通过分析对准全息的误差,推导出主全息的条纹位置畸变误差,最后计算出其综合误差为0.06A.为验证实验结果的可靠性,将其与平面镜自准直检测结果(ERMS=0.062A)比较,结果二者吻合良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	伍凡	中国科学院光电技术研究所	79	917	19.0	25.0
2	侯溪	中国科学院光电技术研究所	28	403	12.0	19.0
3	陈强	中国科学院光电技术研究所	80	815	18.0	25.0
4	张晶	中国科学院光电技术研究所	71	1325	21.0	35.0
5	谢意	中国科学院光电技术研究所	3	63	3.0	3.0
9	吴高峰	中国科学院光电技术研究所	6	68	5.0	6.0