离散点的线轮廓度评价算法

• 作者: 叶声华 张进 李超 王仲 贡力
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 线轮廓度误差 微型零件 最小距离法 离散点
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 2281-2285
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.4
• 字数: 3041字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.11.040

摘要

为了实现微型零件轮廓的高精度测量,根据其成像特点,提出了一种基于离散点的轮廓度评价算法--被测轮廓与理论轮廓离散点间最小距离法.首先,提取出被测轮廓的边缘点信息,然后,依据理论轮廓计算出一系列间距极小的坐标点并建立坐标系.将被测轮廓点与理论轮廓点对应,最后将计算得出的每个被测轮廓点到最近理论轮廓点的距离作为该点的轮廓度误差.实验结果证明,测量精度优于2 pixel,此方法町有效地提高线轮廓度的评价精度和效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶声华	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	292	6282	40.0	63.0
2	王仲	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	58	779	12.0	26.0
3	李超	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	42	320	11.0	16.0
4	张进	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	7	57	5.0	7.0
5	贡力	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	32	2.0	2.0