强流脉冲离子束辐照对电弧离子镀TiNbN硬质薄膜摩擦磨损性能的影响

• 作者: 林国强 林莉 王富岗 郝胜智 陈军
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: TiNbN硬质薄膜 强流脉冲离子束 膜基结合力 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 1003-1006
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 1917字
• 语种: 中文

摘要

利用分离靶电弧离子镀工艺在高速钢基体上制备TiNbN多元硬质薄膜,利用TEMP-6型强流脉冲离子束(HIPIB)设备,采用含C/H离子、加速电压300 kV、脉冲宽度70 ns、束流密度60 A/cm2的强流脉冲离子束对所制备的薄膜进行辐照处理,研究辐照前后膜层的摩擦磨损性能的变化.实验结果表明:HIPIB辐照以后,薄膜的表面熔化,摩擦系数降低,晶粒细化,膜层的硬度由HK3444提高到HK3820,膜基结合力由59 N提高到65 N.在测试载荷300 N和600 N条件下,薄膜的摩擦磨损性能均有较大改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝胜智	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	43	558	14.0	22.0
2	王富岗	大连理工大学材料科学与工程学院	50	470	12.0	19.0
3	林莉	大连理工大学材料科学与工程学院	117	1355	20.0	31.0
4	陈军	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	27	189	7.0	13.0
5	林国强	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	59	562	13.0	21.0