微机械陀螺管芯测试方法

• 作者: 刘忠卿 张嵘
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械陀螺 管芯测试 探针卡 虚拟仪器
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 111-113,116
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2061字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.04.037

摘要

采用低分布参数陶瓷探针卡和卡上前置放大器的静电驱动测试方案,解决了微机械陀螺管芯测试中分布参数的影响问题,测得准确的频率特性,获得应用、评估中必需的谐振频率、品质因数(Q值)等参数.在将管芯与测试电路分离、结合的过程中,四维精密位移台发挥了良好的作用.显微视频系统使观察、记录更加准确方便.虚拟仪器技术的应用提高了测试过程的自动化程度.系统为快速剔除不合格产品、测试评估各项性能指标提供了快速有效途径,在促进微机械陀螺技术发展与产业化过程中必将发挥重要的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张嵘	清华大学精密仪器与机械学系	63	721	15.0	25.0
2	刘忠卿	清华大学精密仪器与机械学系	1	3	1.0	1.0