偏振光飞秒双脉冲微加工

• 作者: 周常河 戴恩文 谢金 韩泽华
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 飞秒激光微加工 金属薄膜 偏振双脉冲 微突起
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 768-771
• 页数: 4页
• 分类号: TN249|TG665
• 字数: 1449字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.05.028

摘要

利用具有纳焦能量、高重复频率的偏振光飞秒双脉冲对金属铬膜样品进行微加工,样品表面都会产生微突起状结构,它们的宽度在0～400 ps的双脉冲时延范围内没有明显的变化,但高度却都在1～10 ps的双脉冲时延范围内呈现明显的下降,在此时延范围之外并没有明显的变化.通过加工样品的扫描电子显微镜(SEM)图片发现,对于偏振光,利用双脉冲方法,可以获得更好的加工质量.并且线偏振光得到的微突起状结构比较细长,在入射光束的偏振方向上有所伸长;圆偏振光得到的微突起状结构比较接近圆形.即在低脉冲能量、高重复频率情况下,具体的微加工特征形貌与入射光束的偏振状态有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周常河	中国科学院上海光学精密机械研究所	60	460	13.0	17.0
2	韩泽华	中国科学院上海光学精密机械研究所	6	41	4.0	6.0
6	戴恩文	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	64	5.0	7.0
7	谢金	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	10	1.0	1.0