超声微细电铸试验研究

• 作者: 明平美 曾永彬 朱荻 胡洋洋
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超声搅拌 微细电铸 微器件 微观形貌
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 644-647
• 页数: 4页
• 分类号: TM56
• 字数: 2167字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2008.06.004

摘要

试验研究和分析了电解液施加超声搅拌作用时不同声强对试样形貌质量的影响,优选了工艺参数,在此基础上,进行了超声微结构电铸试验,并制备出多种金属微器件.试验结果表明:超声搅拌声强为12～14w/cm2时,电铸出的镍微器件积瘤、针孔等缺陷少,塌角、圆边现象明显减少,表面平整.微细电铸时,电解液施加适量大小声强的超声搅拌,能显著改善微细电铸器件形貌质量,提高金属充填能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻		237	3580	30.0	43.0
2	曾永彬		54	480	14.0	18.0
3	明平美		39	222	9.0	13.0
7	胡洋洋		16	221	9.0	14.0