屏蔽膜板随动式微细电铸技术基础研究

• 作者: 明平美 曾永彬 朱荻 胡洋洋
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工 电铸 屏蔽膜板 微结构
• 年，卷（期）: 2007,（16）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1891-1895
• 页数: 5页
• 分类号: TQ153.4
• 字数: 3873字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132x.2007.16.001

摘要

提出了屏蔽膜板随动式微细电铸技术,屏蔽阳极膜板随电沉积层的增加而微量移动,从而可以用厚度有限的屏蔽层制造出原理上高度不受限制的三维金属微结构.针对该工艺的特点研制了试验装置,利用紫外光刻制作的屏蔽阳极膜板开展了两种随动方式的研究,分别得到了侧壁陡直的微齿轮和具有倾斜轮廓的微十字结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻		237	3580	30.0	43.0
2	曾永彬		54	480	14.0	18.0
3	明平美		39	222	9.0	13.0
4	胡洋洋		16	221	9.0	14.0