高精密运动平台的重复控制

• 作者: 吴运新 杜飞
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 步进式扫描光刻机 工件台 数学模型 重复控制
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 13-16
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3005字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2008.11.004

摘要

为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工作台宏动平台的控制问题,建立了步进扫描光刻机模拟减振试验平台宏动定位系统工作台伺服系统的数学模型,并根据该系统重复运动的特点,提出一种基于重复控制补偿的PID控制方式.运用MATLAB软件进行仿真试验,仿真结果表明与普通PID控制相比,基于重复控制补偿的PID控制器可以有效地减小跟踪误差,因而可以使系统有更好的控制效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴运新	中南大学机电工程学院	184	1824	22.0	31.0
2	杜飞	中南大学机电工程学院	1	1	1.0	1.0