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基于数字显微全息技术的相位光栅结构测量
基于数字显微全息技术的相位光栅结构测量
作者:
于瀛洁
周文静
徐强胜
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
光学测量
数字显微全息技术
相位物体
显微结构测量
摘要:
以相位光栅为实验对象,开展了基于数字显微全息技术的相位物体三维显微结构信息的再现研究.在Mach-Zender透射式实验系统的基础上,分别采用显微物镜和无透镜放大方式,对相位光栅进行放大,以提高系统横向分辨率.在显微物镜放大系统中,菲涅耳近似数值再现算法与双波长技术相结合,抑制主要系统噪音,获得相位光栅的显微结构三维分布.在无透镜放大数字显微全息系统中,分别利用菲涅耳近似法和卷积方法再现原始物波前,并提出相减法消除系统主要球面误差,获得相位光栅的深度信息.实验结果与Veeco干涉仪测试结果比对表明,光栅周期和深度结构与干涉仪测试数据相符.
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文献信息
篇名
基于数字显微全息技术的相位光栅结构测量
来源期刊
光子学报
学科
工学
关键词
光学测量
数字显微全息技术
相位物体
显微结构测量
年,卷(期)
2008,(11)
所属期刊栏目
全息与光信息处理
研究方向
页码范围
2234-2238
页数
5页
分类号
TN247
字数
2522字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
于瀛洁
上海大学精密机械工程系
80
791
16.0
24.0
2
周文静
上海大学精密机械工程系
24
189
9.0
13.0
3
徐强胜
上海大学精密机械工程系
4
36
4.0
4.0
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数字显微全息技术
相位物体
显微结构测量
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光子学报
主办单位:
中国光学学会
中国科学院西安光学精密机械研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-4213
CN:
61-1235/O4
开本:
大16开
出版地:
西安市长安区新型工业园信息大道17号47分箱
邮发代号:
52-105
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
8749
总下载数(次)
11
总被引数(次)
70454
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