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精密双层气浮直线电机动力学响应分析
精密双层气浮直线电机动力学响应分析
作者:
余显忠
叶燚玺
贾文川
陈学东
原文服务方:
中国机械工程
精密直线电机
响应分析
有限元分析
模态试验
摘要:
高分辨率步进扫描投影光刻机中的精密双层气浮直线电机采用气浮轴承支撑,实现亚微米级定位的高速高精运动.考虑其气固耦合特性以及对运动精度产生的影响,通过有限元的方法建立了精密双层气浮直线电机的有限元模型.在该模型的基础上,应用模态叠加法分析了该系统在各种条件下的动力学响应,得到了在X、Y、Z三个方向的加速度响应曲线;同时,借助实验模态方法,验证了该系统动态响应,从而得到了该系统的谐振频率.仿真计算结果和模态实验结果的偏差小于10%,证明了该模型是正确有效的,为下一步的动态优化和控制设计打下基础.
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文献信息
篇名
精密双层气浮直线电机动力学响应分析
来源期刊
中国机械工程
学科
关键词
精密直线电机
响应分析
有限元分析
模态试验
年,卷(期)
2008,(7)
所属期刊栏目
机械科学
研究方向
页码范围
761-765
页数
5页
分类号
TB122
字数
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1004-132X.2008.07.002
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
陈学东
华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室
56
741
16.0
24.0
2
余显忠
华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室
10
90
6.0
9.0
3
叶燚玺
华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室
2
10
1.0
2.0
4
贾文川
华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室
2
37
2.0
2.0
传播情况
被引次数趋势
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版权信息
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全文.pdf
引文网络
引文网络
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节点文献
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引证文献(1)
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引证文献(0)
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引证文献(0)
二级引证文献(5)
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引证文献(0)
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2020(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
精密直线电机
响应分析
有限元分析
模态试验
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国机械工程
主办单位:
中国机械工程学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-132X
CN:
42-1294/TH
开本:
大16开
出版地:
湖北省武汉市洪山区南李路湖北工业大学
邮发代号:
创刊时间:
1990-01-01
语种:
中文
出版文献量(篇)
13171
总下载数(次)
0
总被引数(次)
206238
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:
National Basic Research Program of China
官方网址:
http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:
农业
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