基于自适应和模糊控制的新型XY平台同步控制研究

• 作者: LIU Qiang 陈静 齐畅
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 自适应控制 模糊控制 同步驱动 鲁棒性
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 信息、控制、决策与仿真
• 页码范围: 3212-3215
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 2711字
• 语种: 中文

摘要

高性能XY平台普遍应用于集成电路(IC)制造和封装设备中.为获得较高加速度,提出了一种单边双直线电机冗余驱动的新型XY定位平台.冗余驱动系统在高速和高加速运动时均存在同步运动精度问题.针对X轴向双直线电机的同步驱动控制,建立了冗余驱动数学模型,并基于模型参考自适应控制和自适应模糊控制算法,设计了运动控制器,确保了同步运动精度.仿真结果表明,在较高加速度运动时,系统具有良好的静态、动态性能和较高的同步运动精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈静	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	19	109	6.0	10.0
2	LIU Qiang	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	1	16	1.0	1.0
3	齐畅	北京航空航天大学机械工程及自动化学院	2	19	2.0	2.0