氮气循环厢式炉的一个新应用面——磷酸铁锂预烧

• 作者: 高超
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 磷酸铁锂 风量循环 厢式炉
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: IC制造设备
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TH39
• 字数: 2571字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.07.009

摘要

基于厢式炉的特点.结合磷酸铁锂的预烧工艺,介绍了其在该领域的最新应用.此最新应用是国内首家批量生产的成熟设备,其风量循环系统、温度控制系统、软件监控系统中的一些独特构思,有效的解决了大量工程技术难题,保证了产品工艺的实现.大量客户现场运行表明该结构稳定可靠,能够有效降低生产成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高超	中国电子科技集团公司第四十三研究所	5	5	1.0	2.0