以创新推动本土光刻设备的发展——访上海微高精密机械工程有限公司总经理程建瑞先生

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篇名	以创新推动本土光刻设备的发展——访上海微高精密机械工程有限公司总经理程建瑞先生
来源期刊	电子工业专用设备	学科
关键词
年，卷（期）	2009,（3）	所属期刊栏目	企业访谈
研究方向		页码范围	49-50
页数	2页	分类号
字数	2961字	语种	中文
DOI