减反膜制备工艺及其应用

• 作者: 戴晋福 朱建明 罗海燕 马国欣 黄光周
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 减反膜 制备工艺 反射率 透射率
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 23-29
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 字数: 7912字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2009.03.006

摘要

减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位,其研究依赖于制备工艺.本文结合近几年来国内外研究现状,叙述了几种不同的减反膜制备方法,分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点,如真空蒸镀法、溅射镀法、溶胶一凝胶法等.并提出了相应的改进方法,分析了这些工艺在减反膜制备中的应用前景,为减反膜的制备提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄光周	华南理工大学电信学院	26	189	9.0	13.0
2	马国欣	华南理工大学电信学院	34	223	8.0	13.0
3	朱建明		3	33	3.0	3.0
4	戴晋福		3	33	3.0	3.0
5	罗海燕	华南理工大学电信学院	1	12	1.0	1.0