ITO多层减反膜系设计及制备研究进展

• 作者: 付静 欧迎春 马眷荣 黄友奇
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: ITO光学性能 减反膜系设计方法 膜层材料选择 ITO多层减反膜系
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 热点评述
• 页码范围: 150-154
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

玻璃基片表面沉积ITO薄膜赋予玻璃诸多优异的电学、光学性能,但ITO薄膜的沉积也使得玻璃在可见光区透过率下降10%左右,在近红外区呈现高吸收、强反射现象,一定程度上弱化了ITO玻璃的部分应用。通过ITO多层减反膜的设计可以有效地解决上述问题,拓宽ITO薄膜玻璃的应用范围。本文首先阐述ITO薄膜沉积后光学曲线及该曲线各波段光学性能变化的理论解释,进而概述常规的减反膜系设计方法及膜层材料选择,并重点介绍ITO多层减反膜系的相关研究动态,本文结尾对ITO多层减反膜的设计和制备进行了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马眷荣		38	421	12.0	20.0
2	付静		18	49	3.0	6.0
3	黄友奇		11	23	3.0	4.0
4	欧迎春		16	51	4.0	6.0