ITO/Ag/ITO透明导电膜性能研究进展

• 作者: 丁博森 刘相局 牛玉超 王孝丽 肖辰 马晓宇
• 来源期刊: 山东建筑大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 透明导电膜 ITO/Ag/ITO Ag 膜 导电性 透过率
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 综合述评
• 页码范围: 376-381
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 4270字
• 语种: 中文

摘要

复合型透明导电膜 ITO/ Ag/ ITO 是一种极具发展潜力的高性能透明导电膜，其导电性远高于传统透明导电材料氧化铟锡（ITO），同时可大幅节约 ITO 膜中的稀缺元素 In。文章阐述了 ITO/ Ag/ ITO 复合膜的设计原理及其设计中存在的问题，分析了 ITO/ Ag/ ITO 结构中底层 ITO 膜、外层 ITO 膜和 Ag 膜在膜系结构中的作用及其对 ITO/ Ag/ ITO 光学和电学性能的影响，阐明了 Ag 膜对 ITO/ Ag/ ITO 光学和电学性能的决定性作用，综述了对Ag 膜进行退火处理、添加其他金属元素、引入超薄层等提高 Ag 膜沉积质量和性能的方法，展望了高性能 ITO/Ag/ ITO 复合透明导电膜今后的研究方向。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛玉超	山东建筑大学材料科学与工程学院	30	192	8.0	12.0
2	王孝丽	山东建筑大学材料科学与工程学院	3	15	3.0	3.0
3	丁博森	山东建筑大学材料科学与工程学院	1	4	1.0	1.0
4	刘相局	山东建筑大学材料科学与工程学院	2	9	2.0	2.0
5	马晓宇	山东建筑大学材料科学与工程学院	2	9	2.0	2.0