压电微动工作台的动态迟滞模型

• 作者: 张承进 张栋 魏强
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电微动工作台 运动定位 动态迟滞模型 PI迟滞模型 扫描探针显微镜
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 549-556
• 页数: 8页
• 分类号: TP271|TN384
• 字数: 4070字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.03.014

摘要

为实现压电微动工作台的快速准确运动定位,研究了其运动定位模型.压电工作台的运动定位精度主要受工作台动态特性和迟滞特性的影响,在介绍这两类典型特性模型及其适用范围的基础上,提出了能够同时体现压电工作台动态特性和迟滞特性的动态迟滞模型,并给出了采用Prandtl-Ishlinskii (PI)迟滞算子的动态迟滞模型参数辨识途径.以TRITOR100型压电工作台为例进行实验研究,结果表明:当压电工作台在30 μm的定位范围内以±900 V/s的输入电压速率进行快速运动定位时,动态迟滞模型的模型精度比以往常用的线性动态模型和迟滞模型有较大提高,其平均误差为0.16 μm,最大误差为0.38 μm,为高性能运动定位工作台控制系统的设计提供了模型基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张承进	山东大学控制科学与工程学院	30	370	10.0	18.0
2	张栋	山东大学控制科学与工程学院	47	231	7.0	13.0
3	魏强	泰山学院物理与电子科学系	27	240	9.0	15.0